中频等离子清洗机是采用中频电源激发气体电离，形成低温等离子体的表面处理设备，核心适配工业规模化生产场景，尤其适合塑料、金属、玻璃等常规材料的批量清洁、活化处理。

一、 核心结构

1、中频电源与阻抗匹配系统

核心为中频数字电源（部分机型支持 20-80kHz 可调），输出功率范围 100W-3000W，配备自动阻抗匹配器，实时调节负载阻抗，确保等离子体稳定激发，避免电源过载损坏。

2、真空腔体与电极系统

腔体容积从 5L（实验室级）到 500L（工业级）可选，部分机型配备旋转样品台，提升批量工件处理均匀性。

电极采用 “平行板” 结构，电极表面喷涂陶瓷绝缘层，防止电弧放电，延长使用寿命；支持内电极 / 外电极两种设计，外电极式无电极污染风险，适配精密件处理。

3、真空与气体输送系统

真空系统采用 旋片泵 + 罗茨泵 组合（工业级），抽气速率快，3-5 分钟可将腔体真空度降至 10-100Pa（常规工艺区间），满足等离子体稳定生成需求；配备真空计与安全阀，保障操作安全。

气体输送系统通过质量流量控制器（MFC）精准控制 Ar、O₂、N₂等气体流量（精度 ±1%），支持单气路或多气路混合输入，适配不同材料处理需求。

4、智能控制系统

搭载 PLC 触摸屏，支持参数预设、配方存储，部分高端机型可对接 MES 系统，实现产线自动化联动。

配备声光报警功能，真空度异常、气体压力不足时自动停机，降低人工巡检成本。

二、 技术特点

1、成本性价比高，适配工业化量产

中频电源制造工艺成熟，维护成本低，支持连续批量作业。

2、等离子体均匀性好，处理效果稳定

适合大面积、多工件同时处理，处理均匀性误差≤±5%，满足汽车零部件、家电外壳等批量产品的一致性要求。

3、工艺兼容性强，适配多材质处理

通过更换气体类型，可实现清洁、活化、刻蚀三大功能：

清洁（O₂等离子体）：去除表面油污、脱模剂、氧化层，清洁率达 99% 以上；

活化（Ar/O₂混合等离子体）：在塑料表面引入羟基、羧基，表面能从 30mN/m 提升至 60mN/m 以上，改善粘接、印刷附着力；

轻度刻蚀（CF₄等离子体）：对金属、陶瓷表面进行微粗糙化，增强涂层结合力。

4、绿色环保，无二次污染

干式处理工艺，无需化学溶剂，污染物分解为 CO₂、H₂O 等挥发性气体，由真空泵排出后经简单处理即可达标排放，符合 RoHS、REACH 等环保标准。

三、 典型应用场景

1、汽车制造领域

汽车内饰件（PP、ABS 材质仪表盘、门板）表面活化：处理后表面能提升至 65mN/m 以上，涂胶粘接强度提升，避免长期使用开胶、鼓包。

汽车灯具（PC 材质灯罩）清洗：去除表面脱模剂，提升镀膜附着力，防止灯罩发黄、开裂。2、电子制造领域

PCB/FPC 板焊盘清洗：去除焊盘氧化层、助焊剂残留，焊接良率提高。

塑料外壳（手机、家电外壳）印刷前活化：解决 PP、PE 材质 “难印刷” 问题，印刷图案耐磨、不掉色。

3、医疗器械领域

一次性注射器、输液器（PP、PVC 材质）表面清洁：去除脱模剂和油污，提升生物相容性，灭菌前预处理。

钛合金医疗器械（手术钳、植入支架）活化：增强涂层附着力，延长器械使用寿命。

4、新材料加工领域

碳纤维复合材料表面活化：改善树脂基体与纤维的界面结合力，复合材料拉伸强度提升。

玻璃制品（显示屏盖板、光学镜片）清洗：去除表面指纹、油污，提升镀膜均匀性。

以上从核心结构、技术特点、典型应用场景三方面进行介绍，帮助客户解决等离子清洗机处理方面的困恼。