等离子表面处理工艺的质量控制标准是什么？

基材完整性

表面无损伤（碳化、变形、微裂纹）

目视检查、金相显微镜、扫描电镜（SEM）

塑料无发黄 / 碳化；金属无麻点 / 微坑；半导体无晶格损伤

处理均匀性

表面性能波动范围

接触角测量（多点测试）、附着力测试（分区抽样）

接触角偏差≤±5°；附着力等级无分区差异

无二次污染

表面残留污染物含量

X 射线光电子能谱（XPS）、俄歇电子能谱（AES）

有机物残留＜0.1μg/cm²；金属离子残留＜10¹⁰ atoms/cm²

工艺稳定性

批间 / 件间处理效果一致性

统计过程控制（SPC），连续抽样 10 件检测

关键指标（如表面能）波动≤±3%

金属件去氧化层（铜 / 铝端子）

氧化层厚度、接触电阻

椭圆偏振仪、四探针电阻测试仪

氧化层厚度≤1nm；接触电阻≤5mΩ

PCB 焊盘去助焊剂

有机物残留量、焊接良率

傅里叶红外光谱（FTIR）、焊接可靠性测试

助焊剂残留峰消失；焊接空洞率＜0.5%

光学镜片去指纹 / 抛光粉

表面颗粒数量、透光率

颗粒计数器、分光光度计

0.1μm 以上颗粒＜5 个 /cm²；透光率提升≥0.2%

半导体晶圆去光刻胶

光刻胶残留、表面粗糙度

原子力显微镜（AFM）、XPS

光刻胶残留为 0；表面粗糙度 Ra≤0.5nm

PP/ABS 汽车保险杠喷漆

表面能、百格附着力

接触角测量仪（二液法）、百格刀 + 3M 胶带

表面能≥65mN/m；百格测试 0 级（无脱落）

FPC 柔性板覆盖膜粘接

剥离强度、弯折可靠性

拉力试验机、弯折试验机

剥离强度≥1.8N/mm；弯折 10 万次无脱层

PE 管材印字

油墨附着力、耐摩擦性

橡皮擦摩擦测试、胶带剥离测试

摩擦 500 次无褪色；胶带剥离无印字脱落

碳纤维复材粘接

界面结合力、拉伸强度

万能材料试验机

拉伸强度≥2800MPa；界面剥离率＜1%

MEMS 微流道刻蚀

刻蚀深度、侧壁垂直度

台阶仪、SEM

深度偏差≤±2%；侧壁垂直度≥89°

硅晶圆 TSV 孔刻蚀

深宽比、孔壁清洁度

聚焦离子束（FIB）、SEM

深宽比≥15:1；孔壁无聚合物残留

陶瓷基板刻蚀

表面粗糙度、镀层附着力

AFM、拉力测试

Ra=0.3-0.5μm；镀层剥离强度≥2.5N/mm

医用导管亲水改性

水接触角、血液相容性

接触角测量仪、ISO 10993 生物相容性测试

水接触角≤10°；溶血率＜5%

纺织面料抗静电

表面电阻率、抗静电耐久性

高阻计、摩擦起电测试

表面电阻率≤1×10⁹Ω；洗涤 50 次性能保持率≥80%

玻璃疏水防雾

水接触角、防雾时长

接触角测量仪、恒温恒湿箱测试

水接触角≥150°；防雾时长≥8 小时

汽车制造

ISO 2409（漆膜附着力）、ISO 9227（盐雾试验）

盐雾试验≥1000 小时无掉漆；高低温循环无脱胶

医疗器械

ISO 10993（生物相容性）、FDA 21 CFR Part 820

无细胞毒性；重金属残留＜0.1ppm

电子半导体

IPC-A-610（电子组件验收）、JEDEC JESD22

焊接良率≥99.5%；器件可靠性测试通过温度循环

包装印刷

GB/T 1720（漆膜附着力）、ASTM D3359

油墨附着力≥4B 级；耐溶剂擦拭≥50 次