在等离子清洗机的真空泵如果没有特殊要求，大多会选配旋片式油泵。而旋片式油泵的工作原理是利用机械方法对真空反应腔体进行抽气，当抽到能满足等离子放电的真空度时，就能维持工艺气体的进入和等离子反应副产物的去除，以保证等离子放电的稳定性。
掌握了正确的方法，等离子清洗机的油式真空泵的维护保养其实很简单。这里我们为大家整理了一些等离子清洗机油泵的拆解流程。
第一步先要将真空泵储油箱拆解，在拆解时真空泵油箱前先将真空泵油放出，用内六角扳手将放油口螺丝拧下，将真空泵内的真空油排尽。之后便要用内六角扳手将真空泵油箱的紧固螺丝拆除，并且需要注意拆解储油箱时不要损坏储油箱密封垫。
另外我们还需要知道手套、口罩和装废油的袋子，是维护真空泵前三种必备的小东西。不同的行业和产品，等离子清洗形成的废气和真空泵油反应会生成各种脏污，尤其要注意是否有腐蚀性和毒性的气、液体，以免对人体造成伤害。
接着我们便要对真空泵排气阀进行拆解了，我们先要将排气阀片护盖拆除，折下保护盖的坚固螺丝，取下保护盖，注意不要损坏密封圈，然后再拆解排气阀片压板以及拆解排气阀片。
然后便是拆解真空等离子清洗机的真空泵转子，我们需要将转子的紧固螺丝拆除，并且拆除小旋片盖板，同时检查小旋片磨损情况，并将二级转子缸室拆解后，检查二级旋片磨损情况，注意检查油路是否堵塞。
到这里则需要拆解真空等离子清洗机的真空泵止逆阀，在将真空泵进气口的紧固螺丝拆除，取下进气口后，注意不要损坏密封圈，然后取下止逆阀的限位卡簧，将止逆阀取出，检查气路及油路是否堵塞、检查止逆阀是否有阻力过大和损坏现象，如止逆阀卡死，拆除时注意不要损伤泵体。
这些便是拆解等离子清洗机当中的真空泵的流程了，通常我们在拆解之后还要对其进行内部清洁、维护设备，保证真空泵能够使用更长时间，不出问题。若是想要重装真空泵，我们可以按照拆解的反向顺序逐一装回。
