Plasma就是等离子也叫做电浆,是离子化气体状物质,尺度大于德拜长度的宏观电中性电离气体,人们生活中也经常见到,太阳、恒星、闪电中都存在等离子体,常见的日光灯、霓虹灯中也存在等离子体。

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等离子清洗机是利用等离子体产生的化学反应和物理反应,将工件表面的污染物质分解、氧化、还原等化学反应,从而将其清除的一种清洗设备。常见的等离子清洗机有干法等离子清洗机和湿法等离子清洗机两种。

plasma清洗机的原理:设备通过等离子体进行材料表面处理的工作,通过气体中成分对污染物处理,如:氧化物、碳化物、有机污染物、无机污染物等,将它们处理成挥发性物质,通过真空泵排出,达到表面清洗的目的;等离子体的粒子能量在0~20eV,作用在物体表面时将原本的化学键断裂,等离子体中自由基与之形成新的结构,带来表面活化改性的效果。

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等离子体中有大量离子、激发态分子、自由基等活性粒子,设备的各种应用都是通过这些微粒达到的,清洗、活化、刻蚀、气相沉积等等;

需要注意的是,不同的处理效果对设备、工艺、处理方式要求是不一样的;在生产中,需要更具产品实际的使用需求以及工艺处理方式,对设备进行设计;比如:汽车制造领域、芯片半导体封装、纺织染色工艺、医疗器械的处理等等,每个行业都有自己的处理需求,我们需要对产品进行定制以满足它们的使用需求。