一、高效性
快速去除：微波等离子体设备利用等离子体中的高活性粒子与光刻胶发生快速的化学反应，能在较短时间内将光刻胶分解为气态产物并去除。而传统的湿法化学去除光刻胶方法，需要较长的浸泡和反应时间，一般需要几分钟甚至几十分钟，相比之下，微波等离子体设备的去除速度更快，可提高生产效率。
批量处理：微波等离子体设备的反应腔室可设计成适合批量处理的结构，能够同时对多个晶圆或大面积的半导体器件进行光刻胶去除处理，且能保证每个工件都能得到均匀、高效的处理，进一步提高了生产效率。传统的一些光刻胶去除方法，如手工擦拭或局部处理方式，难以实现大规模的批量高效处理。
二、环保性
减少化学试剂使用：传统的湿法化学去除光刻胶方法需要使用大量的有机溶剂、强酸强碱等化学试剂，如丙酮、硫酸、氢氧化钠等，这些化学试剂不仅成本高，而且会对环境造成严重污染。微波等离子体设备主要依靠等离子体的物理化学作用去除光刻胶，大大减少了化学试剂的使用量，降低了化学废液的产生和处理成本。
低排放：微波等离子体去除光刻胶过程中产生的废气主要是二氧化碳、水等无害气体或易于处理的气态产物，经过简单的净化处理即可达标排放。而传统化学方法产生的废气中可能含有有机溶剂挥发物、酸雾等有害物质，对大气环境和人体健康危害较大。
三、对基底损伤小
温和处理：微波等离子体设备在去除光刻胶时，可以在相对较低的温度和温和的条件下进行，避免了高温、强酸强碱等对半导体基底材料的损伤。特别是对于一些对温度敏感或易受化学腐蚀的半导体材料和器件结构，如化合物半导体、含有金属电极或脆弱的多层结构等，微波等离子体处理能够在不损害基底性能的前提下有效去除光刻胶。
无机械损伤：与一些传统的机械去除方法，如刮擦、研磨等相比，微波等离子体设备是通过化学反应和物理作用的协同来去除光刻胶，不存在机械力对基底表面的刮擦和磨损，不会在基底表面产生划痕、裂纹等机械损伤，有利于保护半导体器件的完整性和性能。
