在线等离子表面处理机是一种集成于生产线的自动化表面处理设备，通过等离子体技术对材料表面进行清洁、活化、刻蚀或涂层等处理，显著改善材料表面性能。
技术特点
优势 | 应用价值 |
高效连续作业 | 与生产线无缝对接，处理速度快（如半导体晶圆每小时处理数百片），适合大规模量产。 |
表面改性精准可控 | 可通过调节气体种类、功率、时间等参数，实现从纳米级清洁到微米级刻蚀的精确控制。 |
无化学污染 | 干法工艺无需溶剂，减少废水 / 废气排放，符合环保要求（如欧盟 REACH 法规）。 |
材料兼容性广 | 适用于金属、塑料（如 PP/PE）、玻璃、陶瓷、半导体（Si、GaN）、柔性电子（PI 膜）等。 |
多功能集成 | 可同步实现清洁、活化、刻蚀、沉积（如 PECVD 涂层）等多种功能。 |
低损伤处理 | 常压等离子能量较低，适合对热敏感材料（如生物芯片、光学薄膜）的表面改性。 |
技术参数
参数 | 典型范围 | 影响因素 |
处理宽度 | 100~2000mm（取决于喷嘴 / 腔室尺寸） | 生产线宽度、材料规格 |
功率密度 | 0.1~10W/cm²（射频）、10~100W/cm²（微波） | 材料厚度、处理深度要求 |
气体压力 | 真空型：10~1000Pa；常压型：大气压 | 等离子体类型（真空 / 常压） |
处理速度 | 0.1~10m/min（常压）、0.01~1m/min（真空） | 材料敏感度、工艺复杂度 |
均匀性 | ±5%（表面能或刻蚀厚度） | 等离子体分布、传动稳定性 |
